Нитрид кремния и материалы на его основе

М.: Металлургия, 1984. — 136 с.Рассмотрены структура, физические, физико-химические, механические и эксплуатационные свойства нитрида кремния и материалов на его основе. Охарактеризованы основные технологические приемы получения порошков и изделий из Si3N4, а также пленок, покрытий и монокристаллов. Подробно освещены основные области применения этих объектов в качестве конструкционных и инструментальных материалов, а также материалов со специальными электрическими свойствами.
Предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области порошковой металлургии, керамики, высокотемпературного материаловедения, физико-химии твердого тела, компонентов больших интегральных схем. Может быть полезна студентам и аспирантам вузов.